Внедрение новой Pura Plus является Michell последние требования для пластин размером промышленности оборудования и показателей, специально предназначенные для изменения. Пура Плюс представляет собой интернет-передатчики остаточной влажности сделки, несколько монтаж приводит к производственной линии в конце поставку газа Завод полупроводников, контролировать применение ультра-чистого инертного газа. Системы распределения газа в установке комплекса, с участием многих филиалов, узлов и места их применения. Таким образом, после обычной контрольной точке влаги, из-за небольшого количества утечки, неэффективного конструкции системы, отказа компонента или ошибки процесса и поэтому вызывают проникновение влаги, влияют последующее использование. Установленная в системе распределения Пура Плюс обеспечивает быстрый ответ указывает на 20 частей на миллиард уровня влажности время отклика, менее 1 млрд-1 мин. Основные новую концепцию частей на миллиард движения влаги уровня в быстрой реакции и низкой влажности частей на миллиард уровня чувствительности (<1 частей на миллиард) установка измерения многоточечного типа статусных индикаторов низкого обслуживания может быть установлен на совместимый интерфейс дистанционного управления предупреждения и сигнализации Modbus сети, программное обеспечение многоканального Время отклика технология обнаружения диапазон изменения влажности трубопровода (UHP) ультра-чистых газов быстродействие индекс <1 минуту 20 частей на миллиард частей на миллиард 1 влаги 1 частей на миллиард до диапазона давления 20000 частей на миллион от 0 до 10 бар Номинальное давление 300 бар Испытание на герметичность 0-9 мбар л / с Рабочий диапазон расхода 1 ~ 10 л / мин Рабочая температура 5 ~ 40 ° C Температура хранения 30 ~ 70 ° C 20 ~ 28 В постоянного тока 5 Вт максимальной мощности внешнего предохранителя 500 мА быстродействующий два Modbus выходные данные ASCII провода предупреждение RS485 и выход тревоги 2 Максимальное напряжение 40 В постоянного тока Максимальный ток 100 мА газа в контакт материал материал оболочки из нержавеющей стали AISI 316L, электро-полировка внутренней поверхности <10 Ра структура датчика алюминия электролита, верхний защита позолоченный, нижний слой из алюминиевой внутреннего объема 4.4 см3 Вес 450g Газовые соединения 1/4 "м видеомагнитофон электрический интерфейс 9 - контактный D - тип интерфейса м ЭМС EN50081-2 и EN50082-2